نظرة عامة
تم تصميم نظام قياس مقاومة مسبار RMS-1000P عالي الحرارة بأربع نقاط للأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات وتوصيف الرقائق. باعتبارنا مصنعًا ذا خبرة لمعدات اختبار أشباه الموصلات، فإننا نقدم قياسًا دقيقًا لمقاومة الصفائح والمقاومة باستخدام الطريقة الكهروستاتيكية المزدوجة. يتعامل النظام مع أفلام السيليكون والجرمانيوم وGAA وITO باستخدام أداة مسبار متخصصة محملة بنابض، مما يدعم اختبار RT-1000°C في الفراغ أو الأجواء الخاضعة للتحكم لمختبرات البحث والتطوير والشركات المصنعة للرقائق.
المواصفات
| المعلمة | القيمة |
| مبدأ القياس | طريقة رباعية المسبار في الخط؛ تركيبة قياس كهربائية مزدوجة |
| القياس الرئيسي | المقاومة ومقاومة الصفائح |
| المدى | 0.1 مΩ–100 مΩ |
| درجة حرارة الفرن القصوى | تصل إلى 1100 درجة مئوية |
| الجو | خامل / مؤكسد / تخفيض؛ مكنسة؛ أجواء متدفقة |
| الميزات البارزة | رفع بلمسة واحدة؛ مسبار صديق للأغشية الرقيقة؛ برامج الأغشية الرقيقة المهنية |
| نطاق درجة الحرارة | RT-600 درجة مئوية / 1000 درجة مئوية |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ±0.5 درجة مئوية |
| طريقة التحكم بدرجة الحرارة | التحكم الدقيق PID |
| معدل التسخين | 0-10 درجة مئوية/دقيقة (نموذجي 3 درجات مئوية/دقيقة) |
| نطاق المقاومة | 0.1mΩ ~ 100MΩ |
| نطاق المقاومة | 1mΩ.cm ~ 10MΩ.cm |
| نطاق مقاومة الورقة | 0.1mΩ ~ 100MΩ |
| مواصفات العينة | طبقة رقيقة 15-30 مم، العمق<4 مم |
| طريقة القياس | مسبار أربع نقاط مزدوج كهرباء |
| مادة القطب | مجسات كربيد التنجستين / البلاتين |
| مقاومة عزل الإبرة | ≥1000MΩ |
| المواد العازلة | 99% سيراميك ألومينا |
| عرض | شاشة لمس ملونة مقاس 10.1 بوصات |
| واجهة بيانات | USB |
| واجهة اتصال | منفذ LAN |
| تخزين البيانات | تنسيق TXT |
| الأبعاد (الطول × الارتفاع × العرض) | 630×640×450 ملم |
| الوزن | 42.5 كجم |
| مزود الطاقة | 220 فولت ± 10%، 50 هرتز، 2.6 كيلو واط |
| المعايير | ASTM F84، GB/T1551-2009، GB/T1551-1995 |
التطبيقات
- RMS-1000P متخصص في توصيف الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات بما في ذلك رقائق السيليكون، وركائز الجرمانيوم، وGaAs، وInSb، وGaAsAl، وGaAsP، وأشباه الموصلات ذات المحاليل الصلبة، والزجاج الموصل ITO. ضروري لتصنيع الخلايا الشمسية، وإنتاج مصابيح LED، وتطوير الدوائر المتكاملة، وأبحاث الأفلام الموصلة الشفافة.
مزيد من التفاصيل
ميزة أربعة مسبار
يساعد التصميم الكلاسيكي للمسبار على تجنب تلف عينات الأغشية الرقيقة.
خيارات الغلاف الجوي
يدعم الأجواء الخاملة/المؤكسدة/المختزلة، والفراغ، والغاز المتدفق للقياسات المعتمدة على درجة الحرارة.
الأسئلة الشائعة
ما هو مبدأ القياس الأساسي لـ RTS-1000P؟
تم تصميم RTS-1000P باستخدام طرق التوصيف الكهربائي المتقدمة لقياس مقياس مقاومة المسبار رباعي النقاط بدقة متناهية، مما يزيل مقاومة الرصاص وتقلبات درجات الحرارة.ما هي نماذج الأشكال والنماذج المدعومة؟
يدعم النظام نماذج هندسية قياسية بما في ذلك الكتل الصلبة، والأقراص الرقيقة الدائرية، والقضبان المستطيلة مع تركيبات اختبار متخصصة.هل يتوافق RTS-1000P مع معايير المختبرات الدولية؟
نعم، تتوافق جميع القياسات تمامًا مع المعايير الدولية مثل معايير ASTM وIEEE وGB/T لتقديم بيانات قابلة للنشر ومخصصة للبحث.
منتجات ذات صلة
RMS-1000C نظام مقاومة المواد الموصلة للحرارة العالية
تم تصميم RMS-1000C لقياس مقاومة المواد الموصلة باستخدام طريقة 4 أسلاك، وتتميز بدقة مستوى nΩ، ونطاق درجة حرارة RT-1000 درجة مئوية، وبيئات الفراغ/الغلاف الجوي لمواد الكربون والمعادن والأكسيد.
عرض التفاصيل →
RTS-1000I نظام مقاومة المواد العازلة للحرارة العالية
RMS-1000I متخصص في قياس العزل عالي المقاومة باستخدام طريقة القطب الكهربائي ثلاثي الحلقات، مما يحقق نطاق 100Ω~10PΩ مع تصميم تركيبات حاصل على براءة اختراع للتطبيقات الفضائية والإلكترونية.
عرض التفاصيل →
RTS-1000S نظام مقاومة أشباه الموصلات لدرجة الحرارة العالية
تم تحسين RMS-1000S للمواد السائبة لأشباه الموصلات باستخدام طريقة السلكين، مما يوفر نطاق قياس يتراوح بين 0.1mΩ~100MΩ، وأقطاب كهربائية من البلاتين محملة بنابض، وبيئات جوية متعددة لتوصيف المقاومة المعقدة.
عرض التفاصيل →