製品カテゴリー
概要
RMS-1000S 高温半導体材料抵抗率測定システムは、バルク半導体の特性評価のための包括的なソリューションを提供します。半導体テストシステムの専門サプライヤーとして、当社はシリコン、ゲルマニウム、GaAs、InSb、化合物半導体の正確な 2 線式測定を提供します。放熱設計を備えた特許取得済みのスプリング式電極固定具は、安定した接触と RT ~ 1000°C までの正確な温度制御を保証し、世界中の大学、研究機関、半導体メーカーにサービスを提供しています。
仕様
| パラメータ | 値 |
| 測定原理 | 4 線式抵抗率測定法 |
| 主な測定 | 抵抗と抵抗率 vs 温度/時間 |
| 炉の最高温度 | 1100℃まで |
| 温度制御精度 | ±0.5℃ |
| 雰囲気 | 不活性/酸化/還元;真空 |
| 注目すべき機能 | スプリング+自重接触;初心者に優しいソフトウェア。故障診断 |
| 温度範囲 | RT-600℃ / 1000℃ |
| 温度制御方法 | PID精密制御(多段) |
| 加熱速度 | 0 ~ 10°C/分 (通常 3°C/分) |
| 抵抗範囲 | 0.1mΩ~100MΩ |
| 抵抗率範囲 | 1mΩ.cm ~ 10MΩ.cm |
| 仕様例 | Ø<20mm、d<5mm |
| 測定方法 | 半導体用2線式 |
| 電極材質 | プラチナ(上/下) |
| 特許番号 | 2019204156568 |
| 表示 | 10.1 インチ カラー タッチスクリーン |
| データ インターフェイス | USB |
| データ ストレージ | TXT フォーマット |
| 寸法 (L×H×W) | 630×640×450mm |
| 重量 | 42.5kg |
| 電源 | 220V±10%、50Hz、2.6kW |
| 作業環境 | 5°C ~ +40°C |
| 規格 | ASTM 規格 |
アプリケーション
- RMS-1000S は、シリコン (Si)、ゲルマニウム (Ge)、ガリウム砒素 (GaAs)、アンチモン化インジウム (InSb)、三元化合物 (GaAsAl、GaAsP)、固溶体半導体 (Ge-Si、GaAs-GaP) などのバルク半導体材料向けに設計されています。 PTC/NTC サーミスタの開発、パワー半導体の研究、温度センサーの製造に不可欠です。
さらに詳しく
安定した高温測定
スプリング + 自重接触設計により、接触の問題やデータのジャンプが軽減されます。
制御と診断
多段PID制御と故障診断インジケータにより、温度と接点を安定に保ちます。
よくある質問
RTS-1000S の主な測定原理は何ですか?
RTS-1000S は、リード抵抗と温度変動を排除し、半導体の抵抗率を極めて正確に測定するための高度な電気的特性評価方法を使用して設計されています。どのようなサンプル形状とフォームがサポートされていますか?
このシステムは、専用の試験治具を備えた固体ブロック、円形の薄板ディスク、長方形の棒などの標準的なサンプル形状をサポートします。RTS-1000S は国際実験室基準に準拠していますか?
はい、すべての測定値は ASTM、IEEE、GB/T 規格などの国際規格に完全に準拠しており、公開可能な研究グレードのデータを提供します。
関連製品

RMS-1000C 高温導電性材料抵抗率システム
RMS-1000C は、4 線式法を使用した導電性材料の抵抗率測定用に設計されており、nΩ レベルの精度、RT-1000°C の温度範囲、および炭素、金属、酸化物材料の真空/大気環境を特徴としています。
詳細を表示 →
RTS-1000I 高温断熱材抵抗率システム
RMS-1000Iは、トリプルリング電極法を使用した高抵抗絶縁測定に特化しており、航空宇宙および電子用途向けの特許取得済みの治具設計により100Ω~10PΩの範囲を実現します。
詳細を表示 →
RTS-1000P 高温 4 点プローブ抵抗率システム
RMS-1000P は、薄膜およびウェーハの抵抗率測定に 4 点プローブ法を使用し、デュアル静電測定、0.1mΩ ~ 100MΩ の範囲、および半導体材料に特化した治具を備えています。
詳細を表示 →