Sistema de resistividade de sonda de quatro pontos de alta temperatura RTS-1000P — 1

Visão geral

O sistema de medição de resistividade de sonda de quatro pontos de alta temperatura RMS-1000P foi projetado para filmes finos semicondutores e caracterização de wafer. Como uma fábrica experiente de equipamentos de teste de semicondutores, fornecemos medição precisa de resistência de folha e resistividade usando método eletrostático duplo. O sistema lida com filmes de silício, germânio, GaAs e ITO com sonda especializada com mola, suportando testes RT-1000°C em vácuo ou atmosferas controladas para laboratórios de P&D e fabricantes de wafers.

Especificações

Parâmetro Valor
Princípio de Medição Método de quatro sondas em linha; combinação dupla de medição elétrica
Medição Principal Resistividade e resistência da folha
Alcance 0,1 mΩ–100 MΩ
Temperatura máxima do forno Até 1100°C
Atmosfera Inerte/oxidante/redutor; vácuo; atmosfera fluida
Recursos notáveis ​​ Elevador com um toque; sonda compatível com filme fino; software profissional para filmes finos
Faixa de temperatura TA-600°C / 1000°C
Precisão do controle de temperatura ±0,5°C
Método de controle de temperatura Controle de precisão PID
Taxa de aquecimento 0-10 °C/min (típico 3 °C/min)
Faixa de resistência 0,1mΩ ~ 100MΩ
Faixa de resistividade 1mΩ.cm ~ 10MΩ.cm
Faixa de resistência da folha 0,1mΩ ~ 100MΩ
Especificação de amostra Filme fino 15-30mm, d<4mm
Método de medição Sonda de quatro pontos dupla eletrostática
Material do eletrodo Sondas de carboneto de tungstênio/platina
Resistência de isolamento de agulha ≥1000MΩ
Material de isolamento Cerâmica 99% alumina
Exibição Tela sensível ao toque colorida de 10,1"
Interface de dados USB
Interface de comunicação Porta LAN
Armazenamento de dados Formato TXT
Dimensões (C×A×L) 630×640×450mm
Peso 42,5kg
Fonte de alimentação 220 V±10%, 50 Hz, 2,6 kW
Normas ASTM F84, GB/T1551-2009, GB/T1551-1995

Aplicações

  1. O RMS-1000P é especializado na caracterização de filmes finos de semicondutores, incluindo wafers de silício, substratos de germânio, GaAs, InSb, GaAsAl, GaAsP, semicondutores de solução sólida e vidro condutor ITO. Crítico para fabricação de células solares, produção de LED, desenvolvimento de circuitos integrados e pesquisa de filmes condutores transparentes.

Mais detalhes

Vantagem de quatro sondas
O design clássico da sonda em linha ajuda a evitar danos às amostras de película fina.
Opções de atmosfera
Suporta atmosferas inertes/oxidantes/redutoras, vácuo e fluxo de gás para medições dependentes da temperatura.

Perguntas frequentes

  • Qual é o principal princípio de medição do RTS-1000P?

    O RTS-1000P foi projetado usando métodos avançados de caracterização elétrica para medir o medidor de resistividade da sonda de quatro pontos com extrema precisão, eliminando a resistência do chumbo e as flutuações de temperatura.

  • Quais formas e formatos de amostra são suportados?

    O sistema suporta geometrias de amostras padrão, incluindo blocos sólidos, discos circulares de folhas finas e barras retangulares com acessórios de teste especializados.

  • O RTS-1000P está em conformidade com os padrões laboratoriais internacionais?

    Sim, todas as medições estão totalmente alinhadas com as normas internacionais, como os padrões ASTM, IEEE e GB/T, para fornecer dados publicáveis ​​de nível de pesquisa.

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