RTS-1000P Высокотемпературная четырехточечная система измерения сопротивления — 1

Обзор

Высокотемпературная четырехточечная система измерения удельного сопротивления RMS-1000P предназначена для измерения тонких полупроводниковых пленок и определения характеристик пластин. Как опытный завод по производству испытательного оборудования для полупроводников, мы обеспечиваем точные измерения поверхностного и удельного сопротивления с использованием двойного электростатического метода. Система работает с пленками кремния, германия, GaAs и ITO с помощью специального подпружиненного крепления зонда, поддерживающего испытания при температуре RT-1000°C в вакууме или контролируемой атмосфере для научно-исследовательских лабораторий и производителей пластин.

Технические характеристики

Параметр Значение
Принцип измерения Поточный четырехзондовый метод; двойная комбинация электроизмерений
Основное измерение Удельное сопротивление и поверхностное сопротивление
Диапазон 0,1–100 МОм
Максимальная температура печи До 1100°С
Атмосфера Инертный/окислительный/восстановительный; вакуум; текучая атмосфера
Примечательные особенности Лифт в одно касание; тонкий пленочный зонд; профессиональное программное обеспечение для тонких пленок
Температурный диапазон РТ-600°С/1000°С
Точность контроля температуры ±0,5°С
Метод контроля температуры Прецизионное ПИД-регулирование
Скорость нагрева 0–10°C/мин (типично 3°C/мин)
Диапазон сопротивления 0,1 мОм ~ 100 МОм
Диапазон удельного сопротивления 1 МОм.см ~ 10 МОм.см
Диапазон сопротивления листа 0,1 мОм ~ 100 МОм
Образец спецификации Тонкая пленка 15-30мм, d<4мм
Метод измерения Четырехточечный датчик, двойной электростатический
Материал электрода Карбид вольфрама/платиновые зонды
Сопротивление изоляции иглы ≥1000 МОм
Изоляционный материал 99% глиноземная керамика
Дисплей Цветной сенсорный экран с диагональю 10,1 дюйма
Интерфейс данных USB
Коммуникационный интерфейс Порт LAN
Хранение данных Формат TXT
Размеры (Д×В×Ш) 630×640×450 мм
Вес 42,5 кг
Источник питания 220В±10%, 50Гц, 2,6кВт
Стандарты ASTM F84, ГБ/Т1551-2009, ГБ/Т1551-1995

Приложения

  1. RMS-1000P специализируется на определении характеристик тонких полупроводниковых пленок, включая кремниевые пластины, германиевые подложки, GaAs, InSb, GaAsAl, GaAsP, полупроводники на твердом растворе и проводящее стекло ITO. Крайне важно для производства солнечных элементов, производства светодиодов, разработки интегральных схем и исследований прозрачных проводящих пленок.

Подробнее

Преимущество четырехзондов
Классическая конструкция встроенного зонда помогает избежать повреждения тонкопленочных образцов.
Варианты атмосферы
Поддерживает инертную/окислительную/восстановительную атмосферу, вакуум и поток газа для измерения в зависимости от температуры.

Часто задаваемые вопросы

  • Каков основной принцип измерения RTS-1000P?

    RTS-1000P разработан с использованием передовых методов определения электрических характеристик для измерения сопротивления с помощью четырехточечного зонда с предельной точностью, исключая сопротивление проводов и колебания температуры.

  • Какие формы и формы образцов поддерживаются?

    Система поддерживает образцы стандартной геометрии, включая сплошные блоки, круглые тонколистовые диски и прямоугольные стержни со специальными испытательными приспособлениями.

  • Соответствует ли РТС-1000П международным лабораторным стандартам?

    Да, все измерения полностью соответствуют международным нормам, таким как стандарты ASTM, IEEE и GB/T, что позволяет предоставлять публикуемые данные исследовательского уровня.

Сопутствующие товары