RMS-1000P Hochtemperatur-Vierpunkt-Sonden-System zur Spezifischen-Widerstandsmessung — 1

Übersicht

Das RMS-1000P Hochtemperatur-Vierpunkt-Sonden-Messsystem zur Spezifischen-Widerstandsmessung ist für die Charakterisierung von Halbleiter-Dünnschichten und Wafern ausgelegt. Als erfahrener Hersteller von Halbleiter-Prüfgeräten bieten wir präzise Flächenwiderstands- und Spezifischer-Widerstand-Messungen mit der dualen elektrostatischen Methode. Das System verarbeitet Silizium-, Germanium-, GaAs- und ITO-Schichten mit spezialisierter federbelasteter Sondenhalterung und unterstützt RT–1000 °C-Prüfungen im Vakuum oder in kontrollierten Atmosphären für F&E-Labore und Waferhersteller.

Spezifikationen

Parameter Wert
Messprinzip Inline-Vierpunkt-Sonden-Methode; duale elektrische Messkombination
Hauptmessgröße Spezifischer Widerstand und Flächenwiderstand
Messbereich 0.1 mΩ–100 MΩ
Max. Ofentemperatur Bis zu 1100°C
Atmosphäre Inert/oxidierend/reduzierend; Vakuum; strömende Atmosphäre
Besondere Merkmale Einhand-Hub; dünnfilmtaugliche Sonde; professionelle Dünnschicht-Software
Temperaturbereich RT-600°C / 1000°C
Temperaturregelgenauigkeit ±0.5°C
Temperaturregelung PID-Präzisionsregelung
Heizrate 0-10°C/min (typisch 3°C/min)
Widerstandsbereich 0.1mΩ ~ 100MΩ
Spezifischer-Widerstandsbereich 1mΩ.cm ~ 10MΩ.cm
Flächenwiderstandsbereich 0.1mΩ ~ 100MΩ
Probenspezifikation Dünnschicht 15-30mm, d<4mm
Messverfahren Vierpunkt-Sonde, dual elektrostatisch
Elektodenmaterial Wolframkarbid- / Platinsonden
Nadel-Isolationswiderstand ≥1000MΩ
Isolationsmaterial 99% Aluminiumoxid-Keramik
Display 10,1" Farb-Touchscreen
Datenschnittstelle USB
Kommunikationsschnittstelle LAN-Anschluss
Datenspeicherung TXT-Format
Abmessungen (L×H×B) 630×640×450mm
Gewicht 42.5kg
Stromversorgung 220V±10%, 50Hz, 2.6kW
Normen ASTM F84, GB/T1551-2009, GB/T1551-1995

Anwendungen

  1. Der RMS-1000P ist spezialisiert auf die Charakterisierung von Halbleiter-Dünnschichten einschließlich Siliziumwafern, Germaniumsubstraten, GaAs, InSb, GaAsAl, GaAsP, Mischkristall-Halbleitern und leitfähigem ITO-Glas. Entscheidend für die Solarzellenfertigung, LED-Produktion, integrierte Schaltungsentwicklung und die Forschung an transparenten leitfähigen Schichten.

Weitere Details

Vorteil der Vierpunkt-Sonde
Klassisches Inline-Sondendesign hilft, Beschädigungen an Dünnschichtproben zu vermeiden.
Atmosphärenoptionen
Unterstützt inerte/oxidierende/reduzierende Atmosphären, Vakuum und strömendes Gas für temperaturabhängige Messungen.

FAQ

  • Was ist das primäre Messprinzip des RTS-1000P?

    Das RTS-1000P wurde unter Verwendung fortschrittlicher elektrischer Charakterisierungsmethoden entwickelt, um den Widerstandsmesser mit Vierpunktsonde mit äußerster Präzision zu messen und Leitungswiderstände und Temperaturschwankungen zu eliminieren.

  • Welche Beispielformen und Formen werden unterstützt?

    Das System unterstützt Standardprobengeometrien, einschließlich massiver Blöcke, kreisförmiger Dünnblechscheiben und rechteckiger Stangen mit speziellen Testvorrichtungen.

  • Entspricht RTS-1000P den internationalen Laborstandards?

    Ja, alle Messungen entsprechen vollständig internationalen Normen wie ASTM, IEEE und GB/T-Standards, um veröffentlichungsfähige Daten in Forschungsqualität zu liefern.

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