Sistema de resistividad de sonda de cuatro puntos de alta temperatura RTS-1000P — 1

Descripción general

El sistema de medición de resistividad con sonda de cuatro puntos de alta temperatura RMS-1000P está diseñado para la caracterización de obleas y películas delgadas de semiconductores. Como fábrica experimentada en equipos de prueba de semiconductores, proporcionamos mediciones precisas de resistencia y resistividad de las láminas mediante el método electrostático dual. El sistema maneja películas de silicio, germanio, GaAs e ITO con un accesorio de sonda especializado con resorte, que admite pruebas RT-1000 °C en vacío o atmósferas controladas para laboratorios de investigación y desarrollo y fabricantes de obleas.

Especificaciones

Parámetro Valor
Principio de medición Método de cuatro sondas en línea; combinación dual de medición eléctrica
Medición principal Resistividad y resistencia laminar
Rango 0,1 mΩ–100 MΩ
Temperatura máxima del horno Hasta 1100°C
Atmósfera Inerte/oxidante/reductor; vacío; atmósfera fluida
Características notables Elevación con un solo toque; sonda compatible con películas delgadas; software profesional de película fina
Rango de temperatura RT-600°C / 1000°C
Precisión del control de temperatura ±0,5 °C
Método de control de temperatura Control de precisión PID
Tasa de calentamiento 0-10°C/min (típico 3°C/min)
Rango de resistencia 0,1 mΩ ~ 100 MΩ
Rango de resistividad 1mΩ.cm ~ 10MΩ.cm
Rango de resistencia de la hoja 0,1 mΩ ~ 100 MΩ
Especificación de muestra Película delgada de 15-30 mm, d<4 mm
Método de medición Sonda de cuatro puntos electrostática dual
Material del electrodo Sondas de carburo de tungsteno / platino
Resistencia de aislamiento de la aguja ≥1000MΩ
Material aislante 99% cerámica de alúmina
Mostrar Pantalla táctil a color de 10,1"
Interfaz de datos USB
Interfaz de comunicación Puerto LAN
Almacenamiento de datos Formato TXT
Dimensiones (Largo×Alto×Ancho) 630×640×450mm
Peso 42,5 kg
Fuente de alimentación 220 V ± 10 %, 50 Hz, 2,6 kW
Normas ASTM F84, GB/T1551-2009, GB/T1551-1995

Aplicaciones

  1. RMS-1000P está especializado en la caracterización de películas delgadas de semiconductores, incluidas obleas de silicio, sustratos de germanio, GaAs, InSb, GaAsAl, GaAsP, semiconductores de solución sólida y vidrio conductor ITO. Es fundamental para la fabricación de células solares, la producción de LED, el desarrollo de circuitos integrados y la investigación de películas conductoras transparentes.

Más detalles

Ventaja de cuatro sondas
El diseño clásico de sonda en línea ayuda a evitar daños a las muestras de película delgada.
Opciones de atmósfera
Admite atmósferas inertes/oxidantes/reductoras, vacío y flujo de gas para mediciones dependientes de la temperatura.

Preguntas frecuentes

  • ¿Cuál es el principio de medición principal del RTS-1000P?

    El RTS-1000P está diseñado utilizando métodos avanzados de caracterización eléctrica para medir el medidor de resistividad de sonda de cuatro puntos con extrema precisión, eliminando la resistencia del cable y las fluctuaciones de temperatura.

  • ¿Qué formas y formas de muestra se admiten?

    El sistema admite geometrías de muestra estándar, incluidos bloques sólidos, discos circulares de lámina delgada y barras rectangulares con accesorios de prueba especializados.

  • ¿RTS-1000P cumple con los estándares internacionales de laboratorio?

    Sí, todas las mediciones se alinean completamente con normas internacionales como ASTM, IEEE y GB/T para brindar datos publicables con calidad de investigación.

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