Sistema di resistività della sonda a quattro punti ad alta temperatura RTS-1000P — 1

Panoramica

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Specifiche

Parametro Valore
PRINCIPIO DI MISURAZIONE Metodo a quattro sonde in linea; doppia combinazione elettrica-misurazione
Misurazione principale Resistività e resistenza del foglio
Intervallo 0,1 mΩ–100 MΩ
Temperatura forno Fino a 1100°C
Atmosfera Inerte/ossidante/riducente; vuoto; atmosfera fluente
CARATTERISTICHE PRINCIPALI: Sollevatore one-touch; sonda a film sottile; software professionale a film sottile
Intervallo di temperatura RT-600°C / 1000°C
Accuratezza del controllo della temperatura ±0,5°C
Metodo di controllo della temperatura Controllo di precisione PID
Velocità di riscaldamento 0-10°C/min (tipica 3°C/min)
Intervallo di resistenza 0,1 mΩ ~ 100 MΩ
Intervallo di resistività 1 mΩ.cm ~ 10 MΩ.cm
Intervallo di resistenza del foglio 0,1 mΩ ~ 100 MΩ
Specifiche del campione Film sottile 15-30 mm, d<4 mm
Metodo di misurazione Sonda a quattro punti doppia elettrostatica
Materiale elettrodo Sonde in carburo di tungsteno/ platino
Resistenza all'isolamento dell'ago ≥1000MΩ
Materiale isolante 99% ceramica di allumina
Display Touchscreen a colori da 10,1"
Interfaccia dati USB
Interfaccia di comunicazione Porta LAN
Archiviazione dati formato txt
Dimensioni (L×H×W) 630×640×450mm
Peso 42,5kg
Alimentazione 220V±10%, 50Hz, 2.6kW
Standard ASTM F84, GB/T1551-2009, GB/T1551-1995

Applicazioni

  1. RMS-1000P è specializzato nella caratterizzazione di film sottili semiconduttori tra cui wafer di silicio, substrati di germanio, GaAs, InSb, GaAsAl, GaAsP, semiconduttori in soluzione solida e vetro conduttivo Ito. Critico per la produzione di celle solari, la produzione di LED, lo sviluppo di circuiti integrati e la ricerca di pellicole conduttive trasparenti.

Maggiori dettagli

Vantaggio a quattro sonde
Il design classico della sonda in linea aiuta a evitare danni ai campioni a film sottile.
Opzioni atmosfera
Supporta atmosfere inerti/ossidanti/riducenti, vuoto e gas che scorre per misurazioni dipendenti dalla temperatura.

Domande frequenti

  • Qual è il principio di misurazione primario dell'RTS-1000P?

    RTS-1000P è progettato utilizzando metodi avanzati di caratterizzazione elettrica per misurare la resistività della sonda a quattro punti con estrema precisione, eliminando la resistenza del cavo e le fluttuazioni di temperatura.

  • Quali forme e forme campione sono supportate?

    Il sistema supporta geometrie di campioni standard tra cui blocchi solidi, dischi circolari in lamiera sottile e barre rettangolari con dispositivi di prova specializzati.

  • RTS-1000P è conforme agli standard di laboratorio internazionali?

    Sì, tutte le misurazioni sono completamente in linea con le norme internazionali come ASTM, IEEE e gli standard GB/T per fornire dati pubblicabili e di livello di ricerca.

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