产品概述
RMS-1000S 高温半导体材料电阻率测量系统为块体半导体表征提供完整方案。作为专业半导体测试系统供应商，我们为硅、锗、GaAs、InSb 及化合物半导体提供精密两线法测量。专利弹簧电极夹具带散热设计，确保接触稳定，室温至 1000°C 控温准确，服务全球高校、科研院所及半导体制造企业。
技术规格
| 参数 | 指标 |
| 测量原理 | 四线法电阻率测量 |
| 主要测量 | 电阻、电阻率随温度/时间变化 |
| 最高炉温 | 最高 1100°C |
| 控温精度 | ±0.5°C |
| 气氛 | 惰性/氧化/还原；真空 |
| 主要特点 | 弹簧+自重接触；易用软件；故障诊断 |
| 温度范围 | RT-600°C / 1000°C |
| 控温方式 | PID 精密控温（多段） |
| 升温速率 | 0-10°C/min（典型 3°C/min） |
| 电阻量程 | 0.1 mΩ ~ 100 MΩ |
| 电阻率量程 | 1 mΩ·cm ~ 10 MΩ·cm |
| 样品规格 | Ø<20 mm，厚度 d<5 mm |
| 测量方法 | 半导体两线法 |
| 电极材料 | 铂（上/下电极） |
| 专利号 | 2019204156568 |
| 显示 | 10.1" 彩色触摸屏 |
| 数据接口 | USB |
| 数据存储 | TXT 格式 |
| 外形尺寸（长×高×宽） | 630×640×450 mm |
| 重量 | 42.5 kg |
| 电源 | 220V±10%，50Hz，2.6 kW |
| 工作环境 | 5°C 至 +40°C |
| 执行标准 | ASTM 相关标准 |
应用场景
- RMS-1000S 适用于硅（Si）、锗（Ge）、砷化镓（GaAs）、锑化铟（InSb）、三元化合物（GaAsAl、GaAsP）及固溶体半导体（Ge-Si、GaAs-GaP）等块体半导体材料，是 PTC/NTC 热敏电阻研发、功率半导体研究及温度传感器制造的重要工具。
更多详情
稳定高温测量
弹簧+自重接触设计，减少接触不良与数据跳变。
控制与诊断
多段 PID 控温及故障诊断指示，有助于保持温度与接触稳定。
常见问题
RTS-1000S 的主要测量原理是什么？
RTS-1000S 采用先进的电学表征技术，可高精度测量semiconductor resistivity measurement，有效消除接触电阻与温漂干扰。支持哪些样品形状和规格？
系统支持标准的圆片、块体、棒材等多种样品几何形状，并配备专用高可靠性测试夹具。RTS-1000S 是否符合国际实验室标准？
符合。所有测量方法均完全对接 ASTM、IEEE、GB/T 等国际与国家行业标准，确保数据权威可信。
